抽運環(huán)
PUMP是關鍵部件之一，有助于CVD化學氣相沉積等核心制程的穩(wěn)定性提高及能耗降低。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品參數(shù)
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相關方案
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質量管理
產(chǎn)品特點
高精密
高精尺寸的設備零件是半導體芯片特別是納米級芯片制造的基礎
零部件精度直接決定了晶圓制程設備的精度以及其各道工藝處理功能的實現(xiàn)
高潔凈度
高潔凈的設備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎
制程設備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金 |
| 尺寸精度 | 0.02mm |
| 表面處理 | 涂層+精密清洗 |
質量管理
富創(chuàng)質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發(fā)、設計、過程全生命周期質量管理關注各環(huán)節(jié)中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
