應(yīng)用自主設(shè)計刀具通過鉆、銑、鉸等精密加工技術(shù)，使流道、功能面&密封面實現(xiàn)高面粗度、高硬度的性能要求。

應(yīng)用不銹鋼鏡面拋光技術(shù)，在機械加工的基礎(chǔ)上進一步提高流道面粗度，實現(xiàn)高質(zhì)量、高效率的復(fù)雜工位鏡面拋光。

產(chǎn)品流道內(nèi)表面粗糙度滿足SEMI標準的同時可達主流國際客戶的更高標準，實現(xiàn)氣體流通最小湍流、紊流，滿足氣體傳輸?shù)目焖俜磻?yīng)與耐腐蝕要求。